• Абсолютное измерение от 10-8 Торр до атмосферы • Конструкция модуля анода с холодным катодом удобна для обслуживания пользователем, что сокращает время простоя • RS232, RS485 или EtherCAT/аналоговая связь • Датчик MicroPirani на основе MEMS обеспечивает низкое автоматическое давление включения холодного катода • MicroPirani автоматически обнуляется во время цикла откачки для повышения точности
