Серия STP

Серия представлена в широчайшей номенклатуре:

• STP-iXA4506
• STP301 / STP301C / STPH301C / STP-L301C
• STP451 / STP451C / STPH451C
• STP-iX455
• STP-iX457
• STP603 / STP603C
• STPA803C
• STP1003
• STPA1303C
• STPA1603C
• STP-iXR1606
• STP-XA2703C
• STP-iX3006

Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:

• Небольшие габариты, экономия места, сокращение времени и затрат на монтаж
• Встроенный блок питания снижает потребление энергии почти на 32 % при высоком расходе газа
• Работа со скоростью откачки от 300 до 4500 л/с

Серия Advanced High Throughput
Усовершенствованная серия Advanced High Throughput обеспечивает высокую газопропускную способность и отлично подходит для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:

• Компактная конструкция
• Скорость откачки от 300 до 4500 л/с
• Газопропускная способность до 6 ст. л/мин и улучшенная очистка H2, N2 и Ar

Серия Ultra High Vacuum Low Vibration для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.

Серия Ultra High Vacuum для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации:

• Источник питания постоянного тока позволяет отказаться от использования аккумуляторных батарей
• Контроллер с форм-фактором «полустойка», функциями автоматической настройки и расширенной диагностики
• Скорость откачки от 300 до 1000 л/с и предельное давление фланца CF <10-10 мбар
• Доступен вариант исполнения «C» для тяжелых условий эксплуатации