Устройство контроля напыления SPM 220 Благодаря устройству контроля напыления SPM 220, компания Pfeiffer Vacuum предлагает идеальное решение для качественного и количественного анализа газов в процессах напыления. Комбинация турбонасосной станции HiPace с масс-спектрометром с источником ионов SPM с дифференциальной перекачкой делает его идеальным для применения в диапазоне давлений до10 гПа. На рисунке показан схематический вид анализатора в сборе, соединенного с технологической камерой. Короткая широкая трубка образует соединение с технологической зоной. Источник ионов постоянно открыт в технологическую камеру, но не проходит внутрь нее. Благодаря особой конструкции SPM 220 в ионизационной камере источника ионов поддерживается рабочее давление, а для нитей накаливания и остальной части масс-спектрометра поддерживается высокое разрежение. Источник ионов снабжен штуцерами для инжекции электронов и отвода ионов. Это позволяет обнаружить даже незначительные примеси в технологическом газе с помощью активных газов. Это также эффективно предотвращает искажение показаний из-за обратной диффузии из камеры анализатора.
Интерфейс клапана HPI 040 С ручным или электропневматическим управлением. Состоит из трех клапанов, запорного клапана с сильфонным уплотнением с номинальным диаметром DN 40 CF для анализа остаточных газов или обнаружения утечек до <5·10-7 гПа и двух клапанов со сменными штуцерами на перепуске. Прилагается один штуцер 0.03 мм для расширения диапазона до 8 гПа (N2). Двойной запорный клапан С ручным или электропневматическим управлением. Состоит из двух запорных клапанов с сильфонным управлением, сваренных друг с другом. Один запорный клапан с номинальным диаметром DN 40 CF для анализа остаточных газов или обнаружения утечек до <1·10-4 гПа и второй запорный клапан со сменным штуцером. Поставляется с уже установленным штуцером 0,1 мм для диапазона давлений 0.05-0.5 гПа (N2). Дозировочный клапан газа UDV 040 Вручную настраиваемый дозировочный клапан газа для диапазона давления 1·10-3 до 50 гПа. Максимально возможный и приемлемый диапазон давления определяется, в частности, увеличивающимся отделением газа, которое происходит при возрастающих давлениях.
Обзор преимуществ:
Значительная гибкость благодаря 5 вариантам впуска газа с ручным или электропневматическим управлением для анализа, контроля и управления процессами с давлением до 50 гПа.
Простая и гибкая интеграция в систему благодаря разным цифровым и аналоговым входам и выходам.
Многоканальная работа позволяет оценивать данные от нескольких масс-спектрометров с помощью одного ПК.
