Быстрая откачка камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление
Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) — одни из самых компактных и малошумных насосов для облегченных режимов работы
Насосы iXL600M и iXL1000M изготовлены из закаленной стали и специально разработаны для травления диэлектриков (оксидов) и других аналогичных задач
Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением
iXL900R — самый быстрый из насосов, предназначенных для использования с загрузочными шлюзами при производстве плоских дисплеев (FPD). Использование этого нового насоса позволяет клиентам значительно снизить эксплуатационные расходы и сократить продолжительность монтажа. Этот насос особенно хорошо подходит для камер с загрузочным шлюзом самых больших размеров, которые используются в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD). Кроме того, на каждую камеру потребуется меньшее количество насосов. Преимущества — сокращение времени монтажа, снижение энергопотребления, уменьшение расходов на создание системы и ее техническое обслуживание.
Функция Green Mode позволяет снизить потребление энергии в холостом режиме, тем самым улучшая экологические показатели предприятия и оптимизируя его расходы
Управление температурой насоса и бустера в зависимости от применений;
Возможность использования специальных материалов для корпуса, ротора и уплотнений с целью повышения устойчивости к коррозионным газам;
