• Непрерывный мониторинг процессов CVD и травления на месте • Контроль утечек воздуха и фонового загрязнения • Программное обеспечение Process Eye Professional АОГ • Может быть интегрирован с широким спектром инструментов CVD и травления • Дистанционный вакуумный регулятор для безотказной работы в вакууме • Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM
Vision 2000-C и Vision 2000-E предназначены для отслеживания уровней различных видов газов во время процессов травления и очистки камеры, последовательностей пассивации и этапов осаждения для различных процессов CVD, включая: • Нитрид титана (от TDMAT) • Оксид тантала (из предшественника тантала) • Медь (от CupraSelect) • HDP low-k диэлектрических пленок • Атомный слой CVD (ALD) и эпитаксия атомного слоя • MOCVD • Вольфрам и силицид вольфрама • Реактивное ионное травление • Плазменное травление • Плазменное травление высокой плотности • Микроволновое травление Определение уровня промилле для следовых загрязнений Благодаря максимальному соотношению между сигналами газов CVD или камеры травления и газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-C и Vision 2000-E с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник обеспечивает обнаружение уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе. Анализатор закрытого ионного источника изготовлен из нержавеющей стали и высокоплотной глиноземной керамики, изготовленной в вакууме, и имеет независимо заменяемые двойные нити для обеспечения встроенной резервной копии в случае повреждения нити. Стандартная система включает в себя анализатор с двойным фильтром для повышенной чувствительности видов с большей массой, стойкости к загрязнению и повышенной долгосрочной стабильности. Дистанционный вакуумный регулятор Каждая система Vision 2000-C и Vision 2000-E включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении. Мобильная платформа АОГ Vision 2000-C или Vision 2000-E может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере. Впускной клапан UniBloc
Эксклюзивный быстродействующий впускной клапан UniBloc позволяет производить отбор проб как при фоновом, так и при технологическом давлении через отверстия, выбранные для встречного давления. При отсутствии отбора проб клапан и анализатор автоматически изолируются от рабочей камеры и продуваются инертным газом. Продувка производится через насосные системы масс-спектрометра, а не через технологическую камеру. Продувка также используется во время прокаливания, сокращая начальное время запуска и остаточного времени восстановления фона. Впускной клапан управляется встроенной электроникой и по сценариям от Process Eye Professional. Выбор клапана производится автоматически с помощью независимого от газа датчика давления на входе UniBloc, который также обеспечивает считывание общего давления в рабочей камере в программном обеспечении Process Eye Professional. Система автоматизированного проектирования использовалось для разработки Unibloc, чтобы иметь минимальные внутренние объемы и площади поверхности. Внутренние уплотнения - Kel-F для совместимости с технологическими газами CVD и травления. Внешние уплотнения выполнены полностью из металла. Конформная нагревательная рубашка обеспечивает контроль температуры, для минимизации осаждения внутри клапана и поддержания подвижности липких/полярных газов через входное отверстие.
