• Определение уровня ppb загрязняющих газов при проведении процессов PVD • Отслеживание состава газовой смеси при использовании двух газов • Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM • Интеграция с широким спектром инструментов PVD • Дистанционный вакуумный контроллер для безотказной работы и управления на базе ПК • Доступно с программным обеспечением Process Eye Professional
Закрытый источник ионов Каждый Vision 2000-P включает в себя закрытый источник ионов и специальный впускной клапан с оптимизированной высокой проводимостью и низкой площадью поверхности к рабочей камере PVD. С помощью этого источника система может контролировать полный цикл процесса PVD, от базового вакуума до рабочего давления до 0,01 мбар, без необходимости снижения давления на входе. Максимизируя соотношение между сигналами рабочего газа газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-P с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник позволяет обнаруживать следовые количества загрязняющих веществ в технологическом газе. Дистанционный вакуумный регулятор Каждая система Vision 2000-P включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении. Мобильная платформа АОГ Vision 2000-P может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере. Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional Анализатор Vision 2000-P использует очень гибкое модульное приложение Process Eye Professional, работающее под 32-битной или 64-битной ОС Windows XP, Vista, 7, 10 или Server 2008. Разработанное с использованием структуры «клиент/сервер», приложение Process Eye Professional поддерживает протокол TCP / IP для полной совместимости на сетевом уровне. Process Eye Professional применяет так называемые «сценарии» (наборы программных параметров) для того, чтобы указать, каким образом прибор должен сканировать и отображать данные, а также реагировать на получаемые данные. Эти сценарии настраиваются пользователем с помощью программного модуля “Recipe Wizard” [Мастер сценариев] и отлично подходят для мониторинга различных фаз циклически повторяющихся сценариев. Связанные спектры гистограммы и недавно полученные спектры сохраняются в буфере данных для удобства просмотра. Сценарии могут быть связаны между собой для оптимального контроля различных этапов определенного процесса или для облегчения автоматической калибровки с использованием заранее определенных сценариев калибровки. Запуск нужного сценария Process Eye Professional нажатием кнопки (или сигналом внешнего устройства) устраняет необходимость в высококвалифицированных операторах, работающих полный рабочий день. Гибкость платформы Process Eye Professional позволяет настраивать сценарии, которые будут: • Определять параметры сбора и отображения данных, наряду с любой онлайн-обработкой данных, необходимой для преобразования данных в соответствующие единицы измерения и информацию • Отображать данные одновременно в форматах «гистограмма» и «data trend», что позволяет проводить всестороннее и информативное исследование значимых ходов событий • Включать пользовательские предупреждения и аварийные сигналы, срабатывающие или прекращающиеся, когда данные указывают на то, что условия процесса отклонились от нормальных условий • Контролировать и отображать другие параметры в виде событий в соответствующих единицах измерения (температура, расход газа, мощность, давление и т. д.) которые связаны с анализатором Vision 2000-B через его гибкий аналоговый и цифровой входы/выходы.
