Microvision 2 оснащаются двойными катодами и анализатором с пре-фильтром и обладает: • Более высоким сопротивлением к влиянию загрязнений по сравнению со стандартным фильтром • Более высокой чувствительностью к высоким (тяжелым) массам по сравнению с одиночными фильтрами (является существенным моментом в мониторинге многих молекул в CVD-процессах) • Широким выбором ионных источников • Двойные независимые нити в стандартной комплектации обеспечивают минимальное время простоя при критическом контроле технологического процесса • Стандартным двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ с микроканальной платой для регистрации парциального давления до 1*10-14 мбар
Электроника Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном: • Препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими • Температурно - сбалансированные основные компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом базовой линии позволяет использовать оборудование для случая, если вакуумная камера стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающего воздуха • Изменяемые условия работы датчика для наилучшего соответствия нуждам любого процесса • Настройки масс-спектрометра сохраняются и автоматически повторно вызываются и калибруются с помощью программных средств • Гибкие возможности для цифрового и аналогового ввода/вывода данных и стандартным разъемом для подключения прибора
Более быстрые и точные ответы возможны в приложениях с замкнутым контуром управления, где АОГ имеет решающее значение для процесса.
