300 mm Resist-Torr XD преодолевает проблемы, возникающие при использовании таких сложных газов как аргон, которые не могут решить ограниченные возможности обнаружения обычных систем. В сочетании с уникальным PR-индексом от MKS, эта мощная платформа обеспечивает явное преимущество для контроля и обнаружения следовых газов. • Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр) • Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb) • Достоверное различие между газами и фоном • 2-кратное улучшение абсолютной чувствительности - благодаря улучшенной фокусировке • Полностью автоматизированный контроль рабочего процесса означает отсутствие необходимости в операторе
Мониторинг дегазации сигнатурной массы Пример из реальной жизни, когда контроль дегазации сигнатурной массы может быть достигнут только при использовании технологии V-lens, показан на рисунке. Исходная линия значительно снижена, что позволяет однозначно определить целевую массу. Это позволяет быстрее и проще идентифицировать следовые газы, что имеет решающее значение во многих производственных процессах.
Индекс PR и интеграция Fab Когда система используется с мощными функциями пакета программного обеспечения сенсорного управления Process Eye и TOOLweb RGA, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное и чувствительное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается.
300-миллиметровый Resist-Torr XD учитывает множество различных параметров ступени дегазации и объединяет эти данные для предоставления информации в виде значимого числа без необходимости интерпретации пользователем. Это измерение, называемое индексом PR, является нормализованным показателем загрязнения фоторезиста с помощью пластин, который может быть представлен в различных формах для сравнения данных с течением времени. 300-миллиметровый Resist-Torr может автоматически прервать обработку любой пластины, без вмешательства оператора, если пластина входит в вакуумную систему с вредными уровнями остаточного фоторезиста, как определено индексом PR. Пример на изображении показывает трассировку индекса PR для серии тестовых пластин и предоставляет пользователю выборочный способ обнаружения образцов, указывающих на загрязнение. Индекс PR отображается в виде чёрной кривой на верхней линии, а уровень опасности-в виде желтой линии. Можно видеть, что черная линия PR поднимается, указывая на то, что она идентифицировала загрязненные пластины. Индекс PR позволяет использовать более чувствительный и надежный метод обнаружения загрязнения фоторезистом.
TOOLweb RGA Используя опцию интеграции датчика RGA TOOLweb для технологических датчиков 300-миллиметровый Resist-Torr XD можно использовать в качестве датчика камеры дегазации, в условиях полностью автоматизированной производственной среды. TOOLweb АОГ поддерживает постоянный мониторинг функционирования оборудования, используя данные всех датчиков, обрабатываемые микропроцессором, до тех пор, пока не будут обнаружены условия применения моделей аварийных сигналов. Доступна полная передача аварийных сигналов и данных на хост-устройство данных масс-спектрометрии FAB и FDC. Поэтому возможен мониторинг состояния рабочей камеры в режиме реального времени и определение любых отклонений процесса от идеальных условий.
