• Контроль во время очистки камеры, пассивации и осаждения • Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb) • Надежное различие между газами и фоном • Впускной клапан быстрого реагирования UniBloc для отбора проб при фоновом и технологическом давлениях • Интеграция с широким спектром инструментов ALD, CVD и Etch
Технология V-lens V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад. В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства). Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, обеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок). Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора. Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления. Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.
Данные получены из очищенного аргона при атмосферном давлении без технологии V-lensСнижение базовой линии и улучшение чувствительности обычно наблюдается при использовании QMS с технологией V-lens
Дистанционный вакуумный регулятор Каждая система Vision 2000-C XD и Vision 2000-E XD включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК.
Впускной клапан UniBloc Быстродействующий впускной клапан UniBloc позволяет производить отбор проб как при фоновом, так и при рабочем давлении. При отсутствии отбора проб клапан и анализатор автоматически изолируются от рабочей камеры и продуваются инертным газом. Продувка осуществляется через насосную систему масс-спектрометра, а не через рабочую камеру. Продувка также используется во время прокаливания, сокращая начальное время запуска и время восстановления остаточного фона. Для отбора проб до 10 Торр имеется специальный 4-клапанный UniBloc для байпасной перекачки, облегчающий более быструю передачу пробного газа на вход, тем самым оптимизируя время отклика на входе. Выше 10 Торр всегда используется 4-клапанная конфигурация. Впускной клапан управляется встроенной электроникой и управляется с помощью сценариев Process Eye Professional. Необходимый выбор клапана осуществляется автоматически с помощью независимого от газа датчика давления на входе UniBloc, который также обеспечивает считывание общего давления в рабочей камере. Внутренние уплотнения - Kel-F для совместимости с рабочими газами ALD, CVD и травления. Внешние уплотнения выполнены полностью из металла.
