Серия AD 63KH

Эти насосы в состоянии удовлетворить требованиям самого сложного технологического процесса, применяются для производства плоских панелей, фотовольтаики и полупроводников и в процессах требующих высокую скорость откачки по Водороду.

Модельный ряд представлен тремя версиями насосов: AD43KH, AD63KH и AD103KH.

Особенности

• прочная рамная конструкция

• улучшенная коррозионная стойкость

• может работать в сильно запыленной атмосфере

Расширенный температурный диапазон

• исключает конденсацию побочных продуктов с высокой температурой

• предотвращает возможность термических реакций в температурно-чувствительных процессах

Низкая стоимость владения

• капитальный ремонт при наработке 2-3 лет (высокая наработка на отказ)

• низкая потребляемая мощность от 3,6 до 5,8 кВт

• малое потребление охлаждающей воды

Низкий уровень шума

Компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

Области применения

• плоские панели

• солнечная энергетика

• полупроводники

Процессы

• осаждение атомного слоя в жестких условиях (на основе Ti)

• плазмохимическое осаждение

• химическое осаждение

• химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений

• травление

• работа с NF3, SiH4 / H2