Серия A 3P

Серия представлена в следующих моделях:

• A103P
• A603P
• A1003P

Преимущества

• низкое энергопотребление

• компактность

• технология многоступенчатого Рутса

• контроль температуры и продувки

• высокая коррозионная стойкость

• низкий уровень шума

• низкий уровень вибрации

• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706

Эффективность

• низкая стоимость владения

• малая занимаемая площадь

• простота установки и подключения

• высокая надежность

• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности

Применение

• травление

• озоление

• стриппинг

• ионная Имплантация