Серия A100L ES

• Высокая производительность
• Надежный и энергоэффективный
• Низкий уровень вибрации и шума
• Система Plug and Play: встроенный мониторинг
• Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485

Поскольку экологичность - это забота каждого, в компании Pfeiffer Vacuum разработали инновационное решение по энергосбережению (ES) для дальнейшего снижения энергопотребления проверенного насоса A 100 L. Полностью интегрированная и автоматически управляемая опция энергосбережения снижает энергопотребление на 50%, обеспечивая значительное снижение стоимости владения без влияния на пропускную способность и занимаемую площадь. Кроме того, опция энергосбережения отличается более низким базовым давлением и низким уровнем шума.

Области применения

• шлюзы, загрузочные камеры

• передаточные камеры

• PVD

• SEM

• камеры предварительной обработки/очистки

• камеры отжига