Made on
Tilda
Высочайшая скорость перекачки водорода при минимальных эксплуатационных расходах
Одно из самых больших преимуществ серии ADH является его высокая скорость перекачки водорода, это позволяет производи более быстрое вакуумированию из камеры между этапами процесса. В сочетании с большим допуском расхода потока, это делает насосы ADH подходящими для самых требовательных технологических процессов. Благодаря оптимизированной конструкции, насосы предлагают наилучшее энергопотребление на рынке при таком уровне производительности насоса.
Отсутствие промежуточного обслуживания
Все подшипники смазываются маслом и не нуждаются в обслуживании на месте. Улучшенный допуск порошка, управление конденсацией и режим холостого хода помогают снизить эксплуатационные расходы.
Высокая устойчивость к побочным продуктам процесса
Насосы оснащены контурами водяного охлаждения с двойной температурой и встроенной продувкой горячим азотом для предотвращения накопления или конденсации порошка. Мощный двигатель может выдерживать большие нагрузки порошка и гарантирует хорошие возможности повторного запуска. Обновленные с помощью совершенно новой системы мониторинга функции серии ADH помогают повысить надежность процесса.
Надежный и безопасный
Конструкция и материалы серии ADH позволяют выдерживать большие статические и динамические напряжения внутреннего давления. Это обеспечивает высочайший уровень безопасности для приложений, в которых используются взрывоопасные газы, такие как водород и силан.
Преимущества
• Скорость откачки до 4 500 м3/ч с сопоставимыми показателями по азоту и водороду.
• Одинаковая производительность с источником питания 50 и 60 Гц.
• Низкий COO из-за низкого энергопотребления и потребления воды
• Высокая пропускная способность порошка
• Большой интервал технического обслуживания благодаря смазанным подшипникам и высокой устойчивости к побочным продуктам процесса
• Повышенная безопасность благодаря превосходной устойчивости к статическим и динамическим внутренним напряжениям.
Приложения
• Полупроводник (ALD, Epitaxy и EUV)
• Плоский дисплей
• Солнечные батареи (a-Si и μ-Si PECVD)
• LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)