Серия On-Board® IS

Серия представлена следующими моделями:

IS 320FX - Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для решения задач современных процессов ионной имплантации, обеспечивает повышенную скорость перекачивания водорода и мощность, сохраняя при этом качество, производительность и надежность, которые вы ожидаете. 

• Разработан специально для процесса ионной имплантации
• Оптимизация производительности инструмента
• Интеллектуальная технология автоматической настройки
• Низкая стоимость владения
• Увеличенный срок эксплуатации

IS XP - Криогенный насос On-Board® IS 320FX обеспечивает повышенную мощность для процессов PVD для достижения максимальной производительности при сохранении прозрачности процесса. В то же время он использует проверенную энергоэффективность, стабильную производительность и низкую стоимость владения, которые вы ожидаете от On-Board® IS. 

• Эксплуатационный резерв для дальнейшего усовершенствования процесса
• Низкая стоимость владения
• Увеличенное время бесперебойной работы
• Интеллектуальная технология автоматической настройки, обеспечивающая стабильность вакуума

IS 250FE

IS 250FX

IS 500 CRYOPUMP

Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы для поддержания оптимальных параметров вакуума в системе для исключительной стабильности процесса. Криогенные насосы On-Board IS обеспечивают максимальное время безотказной работы, лучшую производительность и самую низкую общую стоимость владения среди всех доступных на сегодняшний день систем криогенных насосов. Кроме того, для них доступна глобальная сеть оперативного обслуживания и поддержки Edwards.

Основные характеристики

• Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы
• Оптимальная производительность всей вакуумной системы и исключительная непрерывность технологического процесса
• Максимально быстрая регенерация в системах с одним и несколькими насосами
• Низкое потребление энергии и охлаждающей воды без ухудшения параметров вакуума
• Простая интеграция
• Быстрый монтаж
• Расширенные функции дистанционного мониторинга для профилактического и диагностического обслуживания