Серия XDS

Экран подшипника

предназначен для изоляции смазки подшипников от технологических газов, что повышает чистоту вакуума и предотвращает загрязнение смазки технологическими газами. В результате срок службы подшипников увеличивается.

Интеллектуальный привод электродвигателя

обеспечивает надежную работу в любом регионе мира, защищает насос от перегрузки, обеспечивает возможность дистанционного пуска и останова.

Система газобалласта с высоким расходом

обеспечивает откачку паров (в том числе водяного пара) со скоростью до 240 галл./ч.

Простая односторонняя конструкция спирали

сокращает продолжительность технического обслуживания до нескольких минут, что снижает стоимость владения и увеличивает время бесперебойной работы.

Перейдите на новый уровень

Для насосов линейки Enhanced требуется меньшая (до 20 %) пиковая мощность во время первоначальной откачки, благодаря чему они отлично подходят для откачки из камер большого объема без снижения производительности. Скорость откачки этих насосов выше на 25 %, что играет существенную роль в случае высокоцикличных процессов.

Достоинства: 

• Запатентованная технология изоляции подшипников с помощью сильфона;
• Абсолютно сухая безмасляная откачка;
• Широкий диапазон напряжения питания;
• Предельное остаточное давление: 0,01 мбар (8x10- 3 Торр) – для XDS; 0,007 мбар (5x10-3 Торр) – для nXDS;
• Постоянная скорость откачки в независимости от условий работы;
• Насос может работать от любого напряжения, обеспечивая одинаковые откачные характеристики;
• Не требуется уплотнения вала и продувки подшипников;
• Возможность удалённого управления насосом с помощью 15-пинового разъема логического интерфейса (XDS и nXDS) или цифрового интерфейса USB (для nXDS);
• Низкое энергопотребление;
• Простота ремонта и обслуживания.